晶體生長過程中提升速度的控制方法、裝置和可讀介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110727814.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113463184A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113463184A 申請公布日 2021-10-01
分類號 C30B15/26（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張建成 申請（專利權）人 西門子（中國）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100102北京市朝陽區(qū)望京中環(huán)南路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了晶體生長過程中提升速度的控制方法、裝置和可讀介質(zhì)，該方法包括：獲取晶體需要生長到的目標直徑；實時采集晶體在生長過程中的實際直徑；將目標直徑和實際直徑作為PID控制的輸入，得到PID輸出值；根據(jù)目標直徑和實際直徑，確定速度計算公式；根據(jù)PID輸出值以及速度計算公式，計算晶體的提升速度；根據(jù)提升速度，對晶體進行拉升處理。本方案能夠提高在晶體生長過程中對提升速度進行控制的精度。