一種可防止產(chǎn)生崩邊的半導(dǎo)體晶圓制備的硅片劃片系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111365979.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114030094A 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114030094A 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) B28D5/02（2006.01）I;B28D7/04（2006.01）I;B28D7/02（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 吳海亮;申政澔;張喬棟;陳寶康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京文宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賈珍珠
地址 223002江蘇省淮安市淮安工業(yè)園區(qū)發(fā)展西道18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓制備技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種可防止產(chǎn)生崩邊的半導(dǎo)體晶圓制備的硅片劃片系統(tǒng)，包括底座，所述底座的頂部開設(shè)有水槽，底座的頂部固定連接有外殼，外殼的一側(cè)開設(shè)有安裝槽，安裝槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)門板，外殼的內(nèi)壁固定連接有移動(dòng)機(jī)構(gòu)；本發(fā)明能夠通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)移動(dòng)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸和離心轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，離心轉(zhuǎn)桿通過異形轉(zhuǎn)桿帶動(dòng)滑動(dòng)桿、齒條進(jìn)行往復(fù)，齒條帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪、轉(zhuǎn)動(dòng)軸和噴氣頭進(jìn)行往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，氣泵通過導(dǎo)氣管和噴氣頭對(duì)放置臺(tái)進(jìn)行噴氣，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓表面進(jìn)行吹氣，進(jìn)而能夠?qū)⒕A上的含有雜質(zhì)污水吹走，保證晶圓表面的潔凈度，避免晶圓的殘留的雜質(zhì)影響砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行切割，有效的防止了切割晶圓時(shí)產(chǎn)生崩邊。