一種提高測(cè)試電阻效率的半導(dǎo)體晶圓凸塊
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121999016.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215813164U | 公開（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215813164U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-11 |
| 分類號(hào) | G01R31/26（2014.01）I;G01R27/02（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張喬棟;張子運(yùn);楊萱 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京喆翙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 韋海英 |
| 地址 | 223001江蘇省淮安市工業(yè)園區(qū)發(fā)展西道18號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種提高測(cè)試電阻效率的半導(dǎo)體晶圓凸塊，包括晶圓，所述晶圓由具有完整芯片結(jié)構(gòu)的主片區(qū)和不完整芯片結(jié)構(gòu)的廢片區(qū)構(gòu)成，所述廢片區(qū)沿主片區(qū)四周均勻分布，所述廢片區(qū)左右兩側(cè)設(shè)置有檢測(cè)片區(qū)，所述檢測(cè)片區(qū)由均可與試電筆接觸的一號(hào)測(cè)試片、二號(hào)測(cè)試片、三號(hào)測(cè)試片和四號(hào)測(cè)試片構(gòu)成。本裝置通過設(shè)置了檢測(cè)片區(qū)，檢測(cè)片區(qū)設(shè)置在晶圓的兩側(cè)并且還設(shè)置在了廢片區(qū)上，這樣可以不影響晶圓的正常生產(chǎn)就達(dá)到檢測(cè)的效果，同時(shí)檢測(cè)片區(qū)還分成不同大小的可拆卸片區(qū)，讓不同的檢測(cè)筆都能穩(wěn)定的貼合晶圓的兩側(cè)，同時(shí)還能適配不同尺寸的檢測(cè)筆，提高了晶圓的適配性，保持了檢測(cè)過程中的穩(wěn)定性，提高了檢測(cè)電阻的效率。 |
