一種晶圓切割用廢片回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122001464.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215617246U 公開（公告）日 2022-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN215617246U 申請(qǐng)公布日 2022-01-25
分類號(hào) B24B27/033（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/20（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/12（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李鋒;朱威莉;王浩源 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京喆翙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韋海英
地址 223001江蘇省淮安市工業(yè)園區(qū)發(fā)展西道18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓切割用廢片回收裝置，包括框架，所述框架內(nèi)壁頂部安裝有用于推動(dòng)芯片的第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述框架內(nèi)壁底部安裝分別安裝有放置芯片的第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和打磨芯片的打磨機(jī)構(gòu)。本裝置分別設(shè)置了第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、打磨機(jī)構(gòu)和降塵機(jī)構(gòu)，第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)分別對(duì)芯片進(jìn)行夾持和推動(dòng)芯片運(yùn)動(dòng)，輔助打磨機(jī)構(gòu)進(jìn)行打磨的效果，同時(shí)還間距了裝置上下料的功能，將芯片損壞的片區(qū)通過(guò)打磨的方式打磨掉，最后得到一個(gè)低漏電有價(jià)值的芯片，同時(shí)降塵機(jī)構(gòu)可以對(duì)芯片粉末進(jìn)行快速降塵，充分降低了芯片打磨環(huán)境中的灰塵，保證晶圓有一個(gè)潔凈的工作環(huán)境，打磨好的芯片，只需要將部分片區(qū)屏蔽的方法就可以繼續(xù)使用。