一種基于恒拉速控制結(jié)構(gòu)的硅單晶直徑控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710772913.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107868979A 公開（公告）日 2018-04-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN107868979A 申請(qǐng)公布日 2018-04-03
分類號(hào) C30B29/06;C30B15/22 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉丁;段偉鋒;張新雨 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安芯磁智能科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 西安理工大學(xué);西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的目的是提供一種基于恒拉速控制結(jié)構(gòu)的硅單晶直徑控制方法，首先依據(jù)常規(guī)硅單晶控制結(jié)構(gòu)中熱場(chǎng)溫度和晶體直徑數(shù)據(jù)，辨識(shí)熱場(chǎng)溫度?晶體直徑過(guò)程的非線性大滯后預(yù)測(cè)模型，其中預(yù)測(cè)模型中的時(shí)滯參數(shù)，輸入輸出階次及模型參數(shù)分別通過(guò)輸出相關(guān)性時(shí)滯確定算法、利普希茨商及訓(xùn)練棧式稀疏自動(dòng)編碼器獲得，然后將棧式稀疏自動(dòng)編碼器作為預(yù)測(cè)模型引入到非線性廣義預(yù)測(cè)控制算法中，通過(guò)預(yù)測(cè)控制算法中的預(yù)測(cè)模型，反饋校正，滾動(dòng)優(yōu)化等策略實(shí)現(xiàn)晶體直徑控制，解決了現(xiàn)有硅單晶直徑控制過(guò)程因晶體提拉速度的劇烈波動(dòng)而出現(xiàn)的控制效果變差，甚至導(dǎo)致控制失效的問(wèn)題。