探針防誤觸方法、裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911024547.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110736715B 公開（公告）日 2022-05-24
申請公布號 CN110736715B 申請公布日 2022-05-24
分類號 G01N21/3581（2014.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01B11/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 薛占強(qiáng);郭翠;潘奕 申請（專利權(quán)）人 深圳市重投華訊太赫茲科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道寶田一路臣田工業(yè)區(qū)第37棟二樓東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請屬于掃描成像技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種探針防誤觸方法、裝置及系統(tǒng)，所述方法包括：將測距儀的測距光斑和樣品架調(diào)節(jié)至探針的針尖正下方第一測試距離處；控制樣品架水平移動并通過測距儀隨機(jī)對N個不在同一直線的檢測點(diǎn)進(jìn)行測距；若每一檢測點(diǎn)對應(yīng)的間距與第一測試距離的第一誤差值均小于預(yù)設(shè)閾值，則將測距光斑和樣品架調(diào)節(jié)至探針的針尖正下方第二測試距離處；根據(jù)預(yù)設(shè)掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動，通過所述測距儀對若干預(yù)設(shè)的掃描點(diǎn)進(jìn)行測距；若確定所述樣品平整，則將所述測距光斑和所述樣品架調(diào)節(jié)至所述探針的針尖正下方掃描距離處，以進(jìn)行成像掃描。本申請實施例解決不能實時監(jiān)測樣品到探針的距離的問題。