探針防誤觸方法、裝置及系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201911024547.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110736715B | 公開(公告)日 | 2022-05-24 |
申請公布號 | CN110736715B | 申請公布日 | 2022-05-24 |
分類號 | G01N21/3581(2014.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 薛占強(qiáng);郭翠;潘奕 | 申請(專利權(quán))人 | 深圳市重投華訊太赫茲科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道寶田一路臣田工業(yè)區(qū)第37棟二樓東 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本申請屬于掃描成像技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種探針防誤觸方法、裝置及系統(tǒng),所述方法包括:將測距儀的測距光斑和樣品架調(diào)節(jié)至探針的針尖正下方第一測試距離處;控制樣品架水平移動并通過測距儀隨機(jī)對N個不在同一直線的檢測點(diǎn)進(jìn)行測距;若每一檢測點(diǎn)對應(yīng)的間距與第一測試距離的第一誤差值均小于預(yù)設(shè)閾值,則將測距光斑和樣品架調(diào)節(jié)至探針的針尖正下方第二測試距離處;根據(jù)預(yù)設(shè)掃描成像范圍控制放置有樣品的所述樣品架移動,通過所述測距儀對若干預(yù)設(shè)的掃描點(diǎn)進(jìn)行測距;若確定所述樣品平整,則將所述測距光斑和所述樣品架調(diào)節(jié)至所述探針的針尖正下方掃描距離處,以進(jìn)行成像掃描。本申請實施例解決不能實時監(jiān)測樣品到探針的距離的問題。 |
