相位調(diào)制方法、相位調(diào)制器、標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)及可讀存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910465393.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112015060B 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112015060B 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G03F9/00（2006.01）I;G02F1/03（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 胥欣;孫建超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201203上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種相位調(diào)制方法、相位調(diào)制器、標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)及可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，在調(diào)制頻率一定的情況下，能夠通過改變最大調(diào)制幅度和/或調(diào)制幅度數(shù)量，來對(duì)用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的激光進(jìn)行相位調(diào)制，以抑制寄生干涉，使得所述調(diào)制頻率對(duì)應(yīng)的雜散光消失的光程差范圍內(nèi)的雜散光條紋對(duì)比度更接近于0，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)雜散光影響的消除，提高光學(xué)對(duì)準(zhǔn)信號(hào)的精度。進(jìn)一步地，本發(fā)明的技術(shù)方案，還可以通過改變調(diào)制頻率來有效增大雜散光消失的光程差范圍，以滿足不同焦距的不同光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的需求，通用性高。