金屬薄膜打印裝置及打印方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910344615.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111842885B 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN111842885B 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) B22F3/105（2006.01）I;B33Y30/00（2015.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y50/02（2015.01）I;C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 郝征;李志丹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201203上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種金屬薄膜打印裝置及打印方法，框架提供模塊向載粉平臺(tái)提供支撐框架，并使支撐框架的上表面與載粉平臺(tái)的上表面齊平以對(duì)接，鋪粉單元每在載粉平臺(tái)上鋪設(shè)一層金屬粉末，第一激光發(fā)生模塊發(fā)出激光并選擇性的熔化載粉平臺(tái)上的金屬粉末直至形成金屬薄膜，金屬薄膜的邊緣位于所述支撐框架上，以使傳輸模塊能夠?qū)⑺鲋慰蚣芗八鼋饘俦∧ね瑫r(shí)移走，本發(fā)明利用3D打印技術(shù)直接在支撐框架上打印金屬薄膜，從而簡化了工藝，制備成本較低，并且避免金屬薄膜的損壞。