一種擾動力生成裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010199517.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113495010A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113495010A 申請公布日 2021-10-12
分類號 G01M99/00（2011.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 游繼光 申請（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201203上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種擾動力生成裝置及方法。其中，擾動力生成裝置包括：流體源；至少一個擾動力調(diào)節(jié)單元，任一擾動力調(diào)節(jié)單元的入口與流體源的出口連通，任一擾動力調(diào)節(jié)單元包括：擾動力波動值生成支路，擾動力波動值生成支路的入口與擾動力調(diào)節(jié)單元的入口連通，擾動力波動值生成支路的出口與擾動力調(diào)節(jié)單元的出口連通；擾動力波動值生成支路包括：高頻開關閥和第一流量調(diào)節(jié)模塊，高頻開關閥與第一流量調(diào)節(jié)模塊串聯(lián)連通。本發(fā)明實施例的技術方案中的擾動力生成裝置可生成頻率和波動范圍可調(diào)的擾動力。