掩模夾持模塊及掩模拉伸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010197042.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113493891A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號(hào) CN113493891A 申請公布日 2021-10-12
分類號(hào) C23C14/04（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 耿鵬飛;張洪博;孫啟峰 申請（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201203上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種掩模夾持模塊及掩模拉伸裝置，掩模夾持模塊包括掩膜夾持單元和重力補(bǔ)償單元。所述掩膜夾持單元用于夾持一掩膜；所述重力補(bǔ)償單元沿所述掩模夾持單元的垂向與所述掩模夾持單元間隔設(shè)置；所述重力補(bǔ)償單元用于向所述掩模夾持單元施加與所述掩模夾持單元之重力方向相反的補(bǔ)償力，以抵消所述掩模夾持單元因重力產(chǎn)生的形變。如此配置，重力補(bǔ)償單元能夠?qū)ρ谀A持單元的重力產(chǎn)生的扭矩進(jìn)行補(bǔ)償，避免因掩膜夾持單元受重力而產(chǎn)生垂向形變，從而避免了掩膜夾持單元和其夾持的掩膜發(fā)生垂向運(yùn)動(dòng)，提高了夾持和拉伸的精度。