一種硅片交接裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010258398.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113496931A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113496931A 申請公布日 2021-10-12
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張雯 申請（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 201203上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種硅片交接裝置，包括接片裝置和驅(qū)動件，驅(qū)動件用于驅(qū)動接片裝置靠近硅片以吸附硅片；接片裝置包括接片板、柔性機(jī)構(gòu)和接片手，接片板與驅(qū)動件傳動連接，柔性機(jī)構(gòu)設(shè)置在接片板上，多個接片手安裝在柔性機(jī)構(gòu)上且與接片板間隔設(shè)置，當(dāng)接片手受到向下的作用力時，柔性機(jī)構(gòu)在垂向發(fā)生形變，接片手能夠垂向向下運(yùn)動。若多個接片手的吸附端所在平面與硅片存在傾角時，最先與硅片接觸的接片手受到來自硅片垂向向下的作用力，接片手向下運(yùn)動，接片板繼續(xù)提升其余接片手向上運(yùn)動，直至所有的接片手均與硅片接觸并吸附硅片位置，從而能夠保證硅片傳輸過程中的抗干擾性，提高硅片交接裝置的可靠性。