一種激光退火裝置及其退火方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201511021931.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106935491B 公開（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN106935491B 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類號(hào) H01L21/268 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 崔國(guó)棟;蘭艷平;馬明英;宋春峰;孫剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 屈蘅;李時(shí)云
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種激光退火裝置及其退火方法，該激光退火裝置包括激光光源系統(tǒng)、與激光光源系統(tǒng)連接，位于硅片上方的激光調(diào)節(jié)系統(tǒng)、位于硅片上方，對(duì)硅片表面光斑位置處的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量的溫度監(jiān)控系統(tǒng)、分別與激光光源系統(tǒng)、激光調(diào)節(jié)系統(tǒng)、溫度監(jiān)控系統(tǒng)以及載片臺(tái)連接的中央控制系統(tǒng)。本發(fā)明通過設(shè)置具有多個(gè)獨(dú)立的激光器，提供波長(zhǎng)不同的激光，對(duì)硅片進(jìn)行聯(lián)合退火，通過選擇最佳的工藝參數(shù)組對(duì)硅片進(jìn)行退火，不同波長(zhǎng)的激光進(jìn)行互補(bǔ)，不僅達(dá)到最佳的退火溫度，而且很好的抑制了硅片表面的圖像效應(yīng)；通過溫度監(jiān)控系統(tǒng)的反饋機(jī)制和中央控制系統(tǒng)的調(diào)節(jié)機(jī)制，提高了退火的均勻性和可控性，降低了熱預(yù)算，減少熱擴(kuò)散，提高了退火裝置的工藝適應(yīng)性。