四象限傳感器的標(biāo)定方法、掩模傳輸分系統(tǒng)和光刻設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910360970.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111856894B 公開(kāi)（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN111856894B 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類(lèi)號(hào) G03F9/00 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 趙遠(yuǎn)祎;周文賢;朱正平;唐文力;牛增欣;王青亮;季桂林 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201203 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種四象限傳感器的標(biāo)定方法、掩模傳輸分系統(tǒng)和光刻設(shè)備。其中，四象限傳感器的標(biāo)定方法包括：將待測(cè)工件裝載上運(yùn)動(dòng)單元至對(duì)準(zhǔn)位；微動(dòng)運(yùn)動(dòng)單元至第一四象限傳感器給出的第一方向坐標(biāo)值、第二方向坐標(biāo)值以及第二四象限傳感器給出的第二方向坐標(biāo)值均為0；保持運(yùn)動(dòng)單元在第一坐標(biāo)方向的坐標(biāo)不變，移動(dòng)運(yùn)動(dòng)單元在第二坐標(biāo)方向運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)待測(cè)工件在第二四象限傳感器的兩個(gè)線性區(qū)邊界之間移動(dòng)，其中，兩個(gè)線性區(qū)邊界之間包括至少一段線性區(qū)，線性區(qū)為第二四象限傳感器接收到的光強(qiáng)與光源的光強(qiáng)呈線性關(guān)系的區(qū)域；基于第二四象限傳感器采集的多個(gè)數(shù)據(jù)，完成對(duì)第二四象限傳感器的標(biāo)定。本發(fā)明解決了掩模預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度及效率低的問(wèn)題。