高純氨的廢氣處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011608529.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112850744A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112850744A 申請公布日 2021-05-28
分類號 C01C1/02 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 趙曉蘭;潘佳偉;丁高松 申請（專利權(quán)）人 浙江英德賽半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭文濤
地址 314400 浙江省嘉興市海寧市尖山新區(qū)安江路38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高純氨的廢氣處理裝置，它包括呈圓筒狀的收集罩、熱轉(zhuǎn)化器、氣液分離器、回收精餾塔和加熱室，其特征在于，所述的收集罩位于液氨尾氣排放處且將尾氣排放處包裹在其中，收集罩上與熱轉(zhuǎn)化器之間設(shè)有進(jìn)氣管連接，熱轉(zhuǎn)化器出口端連接有氣液分離器，熱轉(zhuǎn)化器內(nèi)設(shè)有呈螺旋狀的散熱管，散熱管一端連接進(jìn)氣管另一端連接氣液分離器，氣液分離器上設(shè)有出氣管和出液管，出液管出口端與回收精餾塔連接，出氣管與加熱室之間通過送氣管道連接，加熱室上設(shè)有進(jìn)水管與出水管且出水管，熱轉(zhuǎn)化器上具有與出水管連接的出口管。該裝置可以將尾氣收集，通過氣液分離器分離液氨與廢氣，其中設(shè)有回收精餾塔再次精餾提純，而廢氣再利用，功能多實(shí)用性高。