高純氨的充裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023336122.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215569703U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215569703U 申請公布日 2022-01-18
分類號 F17C5/02（2006.01）I;F16L53/30（2018.01）I;F16L53/38（2018.01）I;F16L59/02（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 潘佳偉;丁高松;趙曉蘭;鄒偉;鄢芝勇;李杰 申請（專利權(quán)）人 浙江英德賽半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭文濤
地址 314400浙江省嘉興市海寧市尖山新區(qū)安江路38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種高純氨的充裝裝置，它包括充裝管、液化器、抽送泵、汽化器，其特征在于，所述的充裝管一段連接汽化器另一端連接液化器，所述的汽化器與抽送泵連接，所述的充裝管外表面纏繞有加熱管，所述的加熱管外表面具有將加熱管與充裝管完全包裹的保溫層，所述的加熱管內(nèi)具有冷媒介質(zhì)，加熱管一端封閉另一端連接有加熱組件，所述的液化器出口處設(shè)有弧形且朝下彎曲的出液管。該充裝裝置通過纏繞式的加熱管和包裹上保溫層，使充裝管內(nèi)部氣態(tài)氨維持氣態(tài)所需的溫度，充裝效率高。