一種基于MEMS光柵反射鏡的光譜成像系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111659767.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114485936A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114485936A 申請公布日 2022-05-13
分類號 G01J3/28（2006.01）I;G01J3/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 虞益挺;蘇揚(yáng);董雪;石穎超 申請（專利權(quán)）人 西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院
代理機(jī)構(gòu) 寧波甬致專利代理有限公司 代理人 -
地址 315103浙江省寧波市高新區(qū)清逸路218弄
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于MEMS光柵反射鏡的光譜成像系統(tǒng)及方法，涉及光譜成像技術(shù)領(lǐng)域，本系統(tǒng)包括目標(biāo)、成像子系統(tǒng)、DMD工作面、準(zhǔn)直子系統(tǒng)、MEMS光柵反射鏡工作面和探測器工作面；所述DMD工作面中每個所述微鏡掃描單元處于偏轉(zhuǎn)工作狀態(tài)時將對應(yīng)列的所述目標(biāo)像反射至所述準(zhǔn)直子系統(tǒng)中進(jìn)行準(zhǔn)直，得到的平行光入射到所述MEMS光柵反射鏡工作面上進(jìn)行分光；通過改變所述MEMS光柵反射鏡工作面的偏轉(zhuǎn)角度，使得經(jīng)過MEMS光柵反射鏡分光且反射得到的色散光譜入射至所述探測器工作面的相同區(qū)域。本系統(tǒng)能夠解決色散光譜偏移，以及基于DMD的掃描式光譜成像系統(tǒng)中過度依賴大長寬比探測器面型、集成化水平不高的問題。