一種MEMS微型電流傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210033997.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114563611A 公開（公告）日 2022-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN114563611A 申請(qǐng)公布日 2022-05-31
分類號(hào) G01R19/00（2006.01）I;G01R15/14（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 郝永存;王延龍;苑偉政;常洪龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院
代理機(jī)構(gòu) 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 代理人 -
地址 315048浙江省寧波市高新區(qū)清逸路218弄
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS微型電流傳感器，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。所述微型電流傳感器主要包括熱驅(qū)動(dòng)器部分Ⅰ和諧振器部分Ⅱ。所述熱驅(qū)動(dòng)器部分Ⅰ主要包括錨點(diǎn)1和V型梁2；所述V型梁2的兩個(gè)開口端固定于錨點(diǎn)1上，另一端即尖端與諧振器部分Ⅱ相連。本發(fā)明利用電流的熱效應(yīng)使V型梁2膨脹產(chǎn)生熱應(yīng)力，改變諧振器一3的剛度，使諧振器一3和諧振器二6的幅值比改變。相較于現(xiàn)有技術(shù)，避免了外界的電磁干擾，在結(jié)構(gòu)參數(shù)θ的優(yōu)選范圍內(nèi)能夠滿足特定應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)傳感器微型化、高精度和高魯棒性的測(cè)量要求。