一種晶圓切割切口檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921763927.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211179565U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211179565U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號(hào) | G01N21/88(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陸孫華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 地址 | 215228江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭雙馬街2號(hào)星華產(chǎn)業(yè)園19-2號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用公開了一種晶圓切割切口檢測(cè)裝置，包括操作臺(tái)，所述操作臺(tái)側(cè)板的一側(cè)固設(shè)有第一暗箱，所述操作臺(tái)側(cè)板的另一側(cè)固設(shè)有第二暗箱，所述第一暗箱和第二暗箱的底部均安設(shè)有箱蓋。本實(shí)用設(shè)置了第一暗箱和第二暗箱，而且第二暗箱與第一暗箱相互交替工作，當(dāng)?shù)谝话迪涞膬?nèi)部在對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)的同時(shí)，可以對(duì)第二暗箱進(jìn)行下料與上料操作，使得上料、檢測(cè)以及下料三者互不影響，而且不用停頓的交替循環(huán)進(jìn)行，大大的提高了檢測(cè)效率，而且分別在第一暗箱和第二暗箱的底部均設(shè)置有液壓桿，使用時(shí)，通過液壓桿的作用，可以帶動(dòng)第一暗箱和第二暗箱的下方的承載臺(tái)交替式的上下移動(dòng)，使用起來更加的自動(dòng)化，方便上料與下料。?? |
