一種晶圓切割分離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921763766.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211518101U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211518101U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | B28D5/02(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 陸孫華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 地址 | 215228江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭雙馬街2號(hào)星華產(chǎn)業(yè)園19-2號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓切割分離裝置，包括滑軌和工作臺(tái)，所述滑軌的內(nèi)部安裝有絲桿，且絲桿的右端與第一伺服電機(jī)的輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述絲桿上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑桿，且滑桿的下端固定有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)上固定有第二伺服電機(jī)，且第二伺服電機(jī)的輸出端與電動(dòng)推桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述電動(dòng)推桿的上端卡接有圓盤(pán)，所述圓盤(pán)的上端固定有固定座，且固定座上固定有擋片，所述圓盤(pán)的下部安裝有緊固螺栓，且緊固螺栓穿過(guò)電動(dòng)推桿和圓盤(pán)與螺母轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置絲桿、滑桿、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、第一伺服電機(jī)、圓盤(pán)、電動(dòng)推桿、第二伺服電機(jī)、螺母和緊固螺栓，解決了切割分離裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜不易切割分離且不可旋轉(zhuǎn)和不可拆卸實(shí)用性不佳的問(wèn)題。?? |
