一種分架式晶圓清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821636253.8 申請日 -
公開（公告）號 CN208873703U 公開（公告）日 2019-05-17
申請公布號 CN208873703U 申請公布日 2019-05-17
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陸孫華 申請（專利權(quán)）人 蘇州英爾捷微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州英爾捷微電子股份有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭雙馬街2號星華產(chǎn)業(yè)園19-2號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種分架式晶圓清洗裝置，包括溶液箱，溶液箱的底部安裝有第一支腳和第二支腳，溶液箱的頂部安裝有蓋板，蓋板的內(nèi)部安裝有第二活動軸，第二活動軸的一側(cè)安裝有第二滾筒，第二滾筒的表面安裝有第二毛刷，溶液箱的內(nèi)部安裝有第一活動軸，第一活動軸的一側(cè)安裝有第一滾筒，第一滾筒的外部安裝有第一毛刷，第一支腳的一側(cè)安裝有第二限位塊，第二支腳的一側(cè)安裝有第一限位塊，第一限位塊和第二限位塊的中間位置設(shè)置有過濾斗，過濾斗的底部設(shè)置有濾網(wǎng)，濾網(wǎng)的底部安裝有回收桶。本實(shí)用新型通過設(shè)置輸入管、壓力泵、輸出管、過濾斗、濾網(wǎng)、第一活動軸和第一毛刷解決了現(xiàn)有晶圓清洗裝置清洗不夠全面高效和無法循環(huán)使用耗費(fèi)成本的問題。