一種晶圓研磨用具有自動卸料功能的研磨機
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921762461.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211163462U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請公布號 | CN211163462U | 申請公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號 | B24B37/34(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陸孫華 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蘇州英爾捷微電子股份有限公司 |
| 地址 | 215228江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭雙馬街2號星華產(chǎn)業(yè)園19-2號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓研磨用具有自動卸料功能的研磨機，包括底座，所述底座上端兩側(cè)通過支桿固定連接有橫桿，所述橫桿上端中部貫穿連接有伺服缸，且伺服缸底端通過第二伺服電機活動連接有連接桿，所述連接桿底端中部通過總螺管螺紋連接有螺桿，且螺桿底端固定連接有研磨盤，所述底座頂部中段固定連接有工作箱，所述工作箱一側(cè)下部通過第一伺服電機轉(zhuǎn)動連接有軸桿，所述軸桿前端通過偏心塊分別轉(zhuǎn)動連接有第一研磨板和第二研磨板。本實用新型通過設(shè)置總螺管、第一分螺管、第二分螺管、第三分螺管、伸縮桿、第一固定夾、第二固定夾和偏心塊結(jié)構(gòu)，具有提高研磨效率，實現(xiàn)自動下料和節(jié)約成本的優(yōu)點。?? |
