一種飛秒等離子體光柵誘導(dǎo)擊穿光譜檢測的方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910097636.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109884034B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN109884034B 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01N21/73;G01N21/71 分類 測量；測試;
發(fā)明人 曾和平;牛盛 申請（專利權(quán)）人 廣東朗研科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 李慧
地址 523808 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)北部工業(yè)城中小科技企業(yè)創(chuàng)業(yè)園第4棟1層廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及元素檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種飛秒等離子體光柵誘導(dǎo)擊穿光譜檢測的方法及裝置，將發(fā)射的飛秒脈沖依次經(jīng)過分束、時域同步和聚焦之后形成空間周期調(diào)制的等離子體光柵，采用所述等離子體光柵誘導(dǎo)擊穿光譜對待測樣品進(jìn)行檢測。本發(fā)明的方法將超快光學(xué)中的等離子體光柵與激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）相結(jié)合，既保留了LIBS技術(shù)實(shí)時、快速、微損、全元素分析等無可比擬的優(yōu)勢，又在一定程度克服了單束飛秒光絲鉗制功率的限制，提高了自由電子密度，從而能提高元素信號強(qiáng)度，提高了檢測靈敏度。