微電容式麥克風(fēng)系統(tǒng)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200310112933.1 申請日 -
公開（公告）號 CN1635820A 公開（公告）日 2005-07-06
申請公布號 CN1635820A 申請公布日 2005-07-06
分類號 H04R19/01;H04R31/00 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 王云龍 申請（專利權(quán)）人 無錫產(chǎn)業(yè)發(fā)展集團有限公司
代理機構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 美國通用微機電系統(tǒng)公司;無錫芯奧微傳感技術(shù)有限公司
地址 美國加利福尼亞
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微電容式麥克風(fēng)系統(tǒng)，包括由若干個微電容式單元排列形成的可伸縮式麥克風(fēng)陣列，各微電容式單元包括低電極，支撐在低電極上的薄膜，在薄膜與低電極之間形成真空密封空間，所述微電容式單元還包括硅基體，低電極層疊在硅基體上，薄膜表面的中心部分覆蓋有中心信號線，在薄膜兩側(cè)分別形成一接地電極，兩接地電極與中心信號線共同構(gòu)成傳輸線。本發(fā)明還提供一種制造前述微電容式麥克風(fēng)系統(tǒng)的方法。本發(fā)明的電容式麥克風(fēng)具有靈敏度高、穩(wěn)固性好的優(yōu)點，且在寬頻帶使用時具有均勻頻響。