一種涂層機的載料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021871617.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213825684U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213825684U 申請公布日 2021-07-30
分類號 B05C11/10（2006.01）I;B05C13/00（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 王俊鋒;袁明;謝文榮;秦興耀;王鋒 申請（專利權(quán)）人 廣東鼎泰機器人科技有限公司
代理機構(gòu) 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 袁敏怡
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)赤嶺村工業(yè)區(qū)一橫南路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及涂層設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種涂層機的載料裝置，其包括真空罩、液冷載臺組件、彈性密封件和真空罩底座冷盤，真空罩底座冷盤密封安裝于真空罩的底壁，液冷載臺組件滑動設(shè)置于真空罩底壁，液冷載臺組件和真空罩底座冷盤均為中空結(jié)構(gòu)，冷卻液導(dǎo)入液冷載臺組件和真空罩底座冷盤內(nèi)部以實現(xiàn)冷卻，彈性密封件的一端與液冷載臺組件密封安裝，彈性密封件的另一端與真空罩底座冷盤密封安裝。本實用新型能夠有效、快速地對液冷載臺和真空罩底壁實現(xiàn)降溫，使得液冷載臺能夠長期處于高溫環(huán)境下工作，避免液冷載臺燒損，還能夠加強液冷載臺組件與真空罩安裝的密封性，刀具表面的薄膜沉積效果好。