一種豎直移動(dòng)式InSb晶片退火裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721762437.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207751317U 公開（公告）日 2018-08-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN207751317U 申請(qǐng)公布日 2018-08-21
分類號(hào) F27B13/00;F27B13/14;F27D5/00;F27D7/06;H01L43/12;H01L43/14 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 鄭律 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇森尼克電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 江蘇森尼克電子科技有限公司;浙江森尼克半導(dǎo)體有限公司
地址 215634 江蘇省蘇州市張家港保稅區(qū)新興產(chǎn)業(yè)育成中心4棟253A室(森尼克)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種豎直移動(dòng)式InSb晶片退火裝置，其可使多個(gè)InSb晶片的退火環(huán)境一致。一種加熱爐豎直移動(dòng)式InSb晶片退火裝置，包括：加熱爐，沿豎直方向依次包括預(yù)熱區(qū)、退火區(qū)及保溫區(qū)三個(gè)溫區(qū)，所述加熱爐具有貫通所述三個(gè)溫區(qū)的爐腔；石英管，插設(shè)在所述加熱爐的爐腔中且二者能夠沿豎直方向相對(duì)移動(dòng)，所述石英管內(nèi)腔安置有石英舟，用于承載多個(gè)自下至上水平放置的InSb晶片，所述石英舟置于所述石英管的內(nèi)腔底部；該退火裝置具有第一工作狀態(tài)和第二工作狀態(tài)，在所述第一工作狀態(tài)時(shí)，所述石英管內(nèi)的石英舟位于所述之預(yù)熱；在所述第二工作狀態(tài)時(shí)，是通過加熱爐的緩慢移動(dòng)，使所述石英管內(nèi)的盛載待退火的InSb晶片石英舟逐步依次通過加熱區(qū)，并最后進(jìn)入保溫區(qū)，進(jìn)而完成退火處理的全部過程，石英舟托底部的熱偶將記錄在整個(gè)退火過程中的全部溫度變化數(shù)據(jù)。