硅片分級方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備和計算機可讀存儲介質(zhì)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011211355.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112529357A | 公開(公告)日 | 2021-03-19 |
申請公布號 | CN112529357A | 申請公布日 | 2021-03-19 |
分類號 | G06Q10/06;G06Q50/04;G06F16/2458;B07C5/34 | 分類 | 計算;推算;計數(shù); |
發(fā)明人 | 閔孝成;劉成鋼;李世鑫 | 申請(專利權(quán))人 | 上海賽美特軟件科技股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 成麗杰 |
地址 | 201103 上海市閔行區(qū)吳中路1199號1幢872室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明實施例涉及硅片制造領(lǐng)域,公開了一種硅片分級方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備和計算機可讀存儲介質(zhì)。上述硅片分級方法包括:獲取待分級硅片的質(zhì)量檢測信息;根據(jù)所述質(zhì)量檢測信息和用于硅片分級的基準信息,確定所述待分級硅片的質(zhì)量等級。本發(fā)明實施例提供的硅片分級方法,可以在質(zhì)量檢測的同時,根據(jù)質(zhì)量檢測結(jié)果自動確定待分級硅片的質(zhì)量等級,有效縮短硅片分級時間,消除因人工失誤導致的硅片分級錯誤,從而提高生產(chǎn)效率,提高硅片的出廠質(zhì)量。 |
