硅片生產(chǎn)控制方法、電子設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011211356.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112527586A 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號(hào) CN112527586A 申請公布日 2021-03-19
分類號(hào) G06F11/26;G06F11/36 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 周坤;李世鑫 申請（專利權(quán)）人 上海賽美特軟件科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海晨皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成麗杰
地址 201103 上海市閔行區(qū)吳中路1199號(hào)1幢872室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例涉及硅片制造領(lǐng)域，公開了一種硅片生產(chǎn)控制方法、電子設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。上述硅片生產(chǎn)控制方法包括：獲取待處理硅片上的晶圓體的測試信息；根據(jù)所述測試信息，確定所述待處理硅片的良率；根據(jù)所述良率和預(yù)設(shè)的N個(gè)良率區(qū)間，確定所述待處理硅片所屬的良率區(qū)間；其中，N是大于2的整數(shù)；根據(jù)所述待處理硅片所屬的良率區(qū)間，對所述待處理硅片進(jìn)行與所述所屬的良率區(qū)間相對應(yīng)的處理。本發(fā)明實(shí)施例提供的硅片生產(chǎn)控制方法，可以改善硅片生產(chǎn)一刀切的情況，對硅片的生產(chǎn)過程進(jìn)行精細(xì)化管理，從而縮短硅片生產(chǎn)周期，提高硅片的生產(chǎn)效率。