一種半導體和二維材料的組合功率器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810750083.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108878423A 公開（公告）日 2018-11-23
申請公布號 CN108878423A 申請公布日 2018-11-23
分類號 H01L27/095;H01L21/8258 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉新科;胡聰;王佳樂 申請（專利權）人 山西鎵能半導體科技有限公司
代理機構 深圳市恒申知識產權事務所（普通合伙） 代理人 深圳大學
地址 518060 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道3688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體和二維材料的組合功率器件及其制備方法，該組合功率器件包括設置在同一襯底上的異質結場效應晶體管和二維材料晶體管，其中襯底上設置有二維材料層以及依次設置于襯底的GaN層、AlGaN層，AlGaN層與二維材料層上的兩端設置有歐姆接觸電極、肖特基接觸電極。該組合功率器件中的異質結場效應晶體管和二維材料晶體管設置于同一襯底上，即該組合功率器件不僅具有異質結場效應晶體管大擊穿電場、高電子飽和速率、抗輻射能力強及良好的化學穩(wěn)定性等特點，還具有二維材料晶體管的高能效、可運用于柔性屏，高分辨率液晶顯示器和有機發(fā)光二極管顯示器等領域的特點，因此本發(fā)明提供的組合功率器件具有更廣的應用范圍。