異質(zhì)結(jié)分波段探測(cè)器及其制備方法與應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910535978.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110335908A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-10-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110335908A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L31/0336（2006.01）I; H01L31/0352（2006.01）I; H01L31/101（2006.01）I; H01L31/11（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉新科; 敏龍; 胡聰; 陳勇; 王佳樂(lè) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 山西鎵能半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 深圳大學(xué) |
| 地址 | 518060 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道3688號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種異質(zhì)結(jié)分波段探測(cè)器及其制備方法。所述異質(zhì)結(jié)分波段探測(cè)器包括對(duì)可見(jiàn)光波段響應(yīng)的第二半導(dǎo)體層，所述第二半導(dǎo)體層具有相對(duì)的兩個(gè)表面，其一表面層疊結(jié)合有對(duì)紫外波段響應(yīng)的第一半導(dǎo)體層，另一表面層疊結(jié)合有對(duì)紅外波段響應(yīng)的第三半導(dǎo)體層，且所述第三半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層的長(zhǎng)度相對(duì)所述第一半導(dǎo)體層的長(zhǎng)度依次遞減；在所述第一半導(dǎo)體層的一端部表面上設(shè)有歐姆接觸的第一電極，另一端部表面上設(shè)有歐姆接觸的第二電極，所述第二半導(dǎo)體層和第三半導(dǎo)體層上分別設(shè)有歐姆接觸的電極。所述異質(zhì)結(jié)分波段探測(cè)器能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波段的光譜分段吸收探測(cè)，而且能夠保證探測(cè)的靈敏性。 |
