存儲芯片用氧化鎂靶材分類研究臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120832615.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215587166U 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN215587166U 申請公布日 2022-01-21
分類號 B07B13/04（2006.01）I;B07B13/16（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 王永超;趙澤良;賈時君;陳耘田;陳淵博;王留土;張亞萌;李偉 申請（專利權(quán)）人 河南東微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 關(guān)璐琪
地址 450000河南省鄭州市航空港區(qū)新港大道與人民路交叉口智能終端手機(jī)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)12號樓1、2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了存儲芯片用氧化鎂靶材分類研究臺包括箱體，所述箱體內(nèi)壁設(shè)有若干塊擋板，所述箱體內(nèi)部設(shè)有第一空間、第二空間、第三空間、第四空間，所述第一空間、第二空間、第三空間、第四空間由相鄰的兩塊所述擋板和擋板與箱體內(nèi)壁圍成，所述第一空間、第二空間、第三空間、第四空間直徑依次降低，所述第一空間、第二空間、第三空間、第四空間的兩內(nèi)側(cè)壁均固定連接有凸臺，若干個所述凸臺均設(shè)置斜度，若干個所述凸臺斜度相等，所述箱體兩內(nèi)側(cè)壁固定連接有同一個安裝板，所述安裝板與所述擋板上表面固定連接。本實用新型通過卡槽與不同直徑的鎂靶材配合，從而使不同直徑的鎂靶材進(jìn)入不同的通孔內(nèi)，實現(xiàn)了自動化分類大大提高了分類效率。