一種硅片研磨機(jī)用測(cè)厚裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120153614.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214519255U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN214519255U 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類號(hào) B24B7/22（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 沈益軍;吳雄杰;張立安;潘金平;饒偉星;肖世豪;蘇文霞;梁奎;馮小娟;孟柱;余天威 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江海納半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 溫州青科專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 錢磊
地址 324300浙江省衢州市開(kāi)化縣華埠鎮(zhèn)萬(wàn)向路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種硅片研磨機(jī)用測(cè)厚裝置，包括打磨機(jī)臺(tái)面，所述打磨機(jī)臺(tái)面頂部設(shè)置有下磨盤，所述下磨盤頂部設(shè)有上磨盤，所述上磨盤上開(kāi)設(shè)有圓孔，所述圓孔內(nèi)部設(shè)有圓板，所述圓板通過(guò)軸承與圓孔活動(dòng)連接，所述圓板頂部邊緣固定套接有蝸輪，所述蝸輪一側(cè)設(shè)置有操作裝置，所述圓板上開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔設(shè)置在圓板表面靠近邊緣處，所述圓板頂部設(shè)有固定板，所述固定板頂面開(kāi)設(shè)有限位槽。該硅片研磨機(jī)用測(cè)厚裝置，通過(guò)擰動(dòng)旋鈕可以帶動(dòng)蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)蝸輪帶動(dòng)圓板轉(zhuǎn)動(dòng)，有利于調(diào)節(jié)電極的位置，進(jìn)而匹配不同規(guī)格硅片中心的運(yùn)動(dòng)軌跡，提高了適用性，調(diào)節(jié)精度高，操作方便。