一種提高硅片表面金屬含量測(cè)試效率的治具載臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121339792.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215894531U | 公開（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215894531U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-22 |
| 分類號(hào) | G01N33/00（2006.01）I;B25H1/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張立安;吳雄杰;王志雄;白超;沈益軍;肖世豪;潘金平;許琴;陳伯弘;任蔓青 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江海納半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 溫州青科專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 錢磊 |
| 地址 | 324300浙江省衢州市開化縣華埠鎮(zhèn)萬(wàn)向路5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種提高硅片表面金屬含量測(cè)試效率的治具載臺(tái)，本實(shí)用新型，包括轉(zhuǎn)盤底座，所述轉(zhuǎn)盤底座外表面的底部通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有支撐腿，所述支撐腿的外表面安裝有透明橡膠套，所述轉(zhuǎn)盤底座外表面的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有軸承，所述轉(zhuǎn)盤底座的內(nèi)部安裝有小型電機(jī)，所述小型電機(jī)的輸出端安裝有載臺(tái)。本實(shí)用新型，在轉(zhuǎn)盤底座設(shè)置有小型電機(jī)，同時(shí)載臺(tái)和轉(zhuǎn)盤底座的連接處設(shè)置有軸承，通過(guò)小型電機(jī)輸出端的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)載臺(tái)旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)載臺(tái)內(nèi)部的硅片與試劑充分混合目的，不用手工搖片的方法，也能達(dá)到硅片與試劑充分混合目的，同時(shí)提高了產(chǎn)品進(jìn)行金屬含量檢測(cè)的效率，也避免出現(xiàn)人為因素造成檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確的問題。 |
