一種氮化鋁模板的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110659364.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113488564A 公開(kāi)(公告)日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113488564A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) H01L33/00(2010.01)I;H01L21/324(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L33/12(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐廣源;蔣國(guó)文;樊怡翔;白城鎮(zhèn);常煜鵬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 山西中科潞安紫外光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 郝亮
地址 046000山西省長(zhǎng)治市高新區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氮化鋁模板的制備方法,其包括以下步驟:(1)、在襯底的表面上濺射10~1000nm厚的氮化鋁層;(2)、將表面濺射有氮化鋁層的襯底進(jìn)行高溫退火處理;(3)、將經(jīng)過(guò)高溫退火處理后的表面濺射有氮化鋁的襯底進(jìn)行深冷處理;(4)、將深冷處理后的表面濺射有氮化鋁的襯底升溫至室溫;(5)、將升溫至室溫的表面濺射有氮化鋁的襯底進(jìn)行低溫退火處理;(6)、重復(fù)循環(huán)上述步驟(3)?步驟(5)兩到六次,得到最終的氮化鋁模板。其可有效優(yōu)化AlN和藍(lán)寶石界面的應(yīng)力狀態(tài),改善界面的結(jié)合性能,減小AlN的晶格應(yīng)變,提高用此模板生長(zhǎng)不同組分AlGaN的表面形貌和晶體質(zhì)量。