一種CIGS柔性太陽(yáng)能電池片硒源的線性源裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110727129.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113512701A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113512701A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類(lèi)號(hào) C23C14/24（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;H01L31/032（2006.01）I;H01L31/0445（2014.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 羅明新;張衛(wèi)彪;任宇航;任宇珂 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江尚越新能源開(kāi)發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知見(jiàn)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 張華
地址 311100浙江省杭州市余杭區(qū)余杭經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)興國(guó)路399號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種CIGS柔性太陽(yáng)能電池硒源的線性源裝置，解決以下鍍膜不均勻問(wèn)題：傳統(tǒng)CIGS共蒸法的硒源為點(diǎn)狀硒源，硒源到基底屬于點(diǎn)狀蒸發(fā)到基底表面，在點(diǎn)狀噴口形成高斯分布，存在橫向鍍膜不均勻的現(xiàn)象。本裝置包括圓柱殼狀的線性硒源容器，線性硒源容器的側(cè)面沿圓柱法線方向開(kāi)設(shè)有一條直線型的硒蒸汽噴口，線性硒源容器連接有盒狀硒源，盒狀硒源內(nèi)部裝有待蒸發(fā)的硒金屬，盒狀硒源設(shè)有進(jìn)料口和點(diǎn)狀噴口，盒狀硒源在硒金屬上方設(shè)置加熱源。本發(fā)明圓柱殼狀的線性硒源容器，形成硒蒸汽線性源，減少硒蒸汽輸出后的橫向擴(kuò)散，降低盒狀硒源供氣波動(dòng)對(duì)硒蒸汽輸出的影響，提高硒蒸汽的穩(wěn)定性；同時(shí)可以在線性硒源容器進(jìn)行二次加熱，增強(qiáng)硒源二次激發(fā)活性。