二維材料化學(xué)沉積冷卻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011362062.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112481605A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112481605A 申請公布日 2021-03-12
分類號 C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于葛亮;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;楊金東;孫正乾;唐陽;王楊華 申請（專利權(quán)）人 無錫墨諾半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹祖良;涂三民
地址 214174江蘇省無錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)堰新路311號1號樓1023室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種二維材料化學(xué)沉積冷卻系統(tǒng)，它包括制冷機(jī)、加熱模塊固定板、冷卻盤孔、加熱模塊、熱傳感器、第一三通、第二三通、冷卻介質(zhì)輸出主管、冷卻介質(zhì)輸入主管、冷卻盤管、冷卻介質(zhì)輸入支管與冷卻介質(zhì)輸出支管。本發(fā)明能對加熱模塊固定板進(jìn)行有效冷卻，避免了由于加熱模塊固定板溫度過高而導(dǎo)致機(jī)械結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，保證了二維材料化學(xué)沉積過程的正常運(yùn)行。??