飛輪式二維材料生長用靜態(tài)氣體混合器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022826962.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214300347U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號(hào) CN214300347U 申請公布日 2021-09-28
分類號(hào) C23C16/455（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于葛亮;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;楊金東;孫正乾;唐陽;王楊華 申請（專利權(quán)）人 無錫墨諾半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹祖良;涂三民
地址 214174江蘇省無錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)堰新路311號(hào)1號(hào)樓1022室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種飛輪式二維材料生長用靜態(tài)氣體混合器，它包括混合筒、第一風(fēng)葉輪、第二風(fēng)葉輪、第三風(fēng)葉輪、第二擋板、出氣管、第一進(jìn)氣管、第二進(jìn)氣管、下隔板、下隔板通氣孔、上隔板、上隔板通氣孔、臺(tái)階折板與第一擋板；第二進(jìn)氣管的出口偏離第一風(fēng)葉輪的中心，下隔板通氣孔的中心與第一風(fēng)葉輪的中心呈偏心設(shè)置，第二擋板與第一擋板呈對插設(shè)置。本實(shí)用新型極大地提高了氣體混合效果且具有結(jié)構(gòu)簡單、拆裝方便的優(yōu)點(diǎn)。