二維材料化學(xué)沉積冷卻系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022809643.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214271040U | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214271040U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | C23C16/46（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 于葛亮;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;楊金東;孫正乾;唐陽;王楊華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫墨諾半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹祖良;涂三民 |
| 地址 | 214174江蘇省無錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)堰新路311號(hào)1號(hào)樓1022室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種二維材料化學(xué)沉積冷卻系統(tǒng)，它包括制冷機(jī)、加熱模塊固定板、冷卻盤孔、加熱模塊、熱傳感器、第一三通、第二三通、冷卻介質(zhì)輸出主管、冷卻介質(zhì)輸入主管、冷卻盤管、冷卻介質(zhì)輸入支管與冷卻介質(zhì)輸出支管。本實(shí)用新型能對(duì)加熱模塊固定板進(jìn)行有效冷卻，避免了由于加熱模塊固定板溫度過高而導(dǎo)致機(jī)械結(jié)構(gòu)發(fā)生變形，保證了二維材料化學(xué)沉積過程的正常運(yùn)行。 |
