二維材料垂直生長(zhǎng)的硅片反應(yīng)轉(zhuǎn)移裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011355450.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112490161A 公開（公告）日 2021-03-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112490161A 申請(qǐng)公布日 2021-03-12
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于葛亮;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;楊金東;孫正乾;唐陽(yáng);王楊華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫墨諾半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹祖良;涂三民
地址 214174江蘇省無(wú)錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)堰新路311號(hào)1號(hào)樓1023室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種二維材料垂直生長(zhǎng)的硅片反應(yīng)轉(zhuǎn)移裝置，包括硅片座與壓蓋；在所述硅片座的側(cè)面開設(shè)有夾持凹槽，在硅片座的上端面設(shè)有呈多邊形形狀的硅片放置凹腔；所述壓蓋套在硅片座的上端，在對(duì)應(yīng)硅片放置凹腔位置的壓蓋上開設(shè)有壓蓋孔，所述硅片放置凹腔的邊角位于壓蓋孔之外。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便，偏于更換轉(zhuǎn)移硅片，在抽真空和噴淋時(shí)，由于壓蓋壓住硅片，硅片不會(huì)脫落。??