一種用于AC/DC的氮化鎵晶體管及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011569284.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112670343A 公開(kāi)(公告)日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112670343A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) H01L21/335(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鮑通 申請(qǐng)(專利權(quán))人 令儲(chǔ)(上海)科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200080上海市虹口區(qū)峨眉路315號(hào)8899室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于AC/DC的氮化鎵晶體管,包括成核層和襯底層,成核層的底部設(shè)有襯底層,襯底層上設(shè)有流體散熱結(jié)構(gòu),襯底層的底部固定安裝有散熱座,成核層的頂部設(shè)有導(dǎo)電緩沖層,導(dǎo)電緩沖層遠(yuǎn)離成核層的一側(cè)設(shè)有漂移層,所述漂移層遠(yuǎn)離導(dǎo)電緩沖層的一側(cè)設(shè)有電子阻擋層,電子阻擋層遠(yuǎn)離導(dǎo)電緩沖層的一側(cè)設(shè)有溝道層,溝道層遠(yuǎn)離電子阻擋層的一側(cè)設(shè)有勢(shì)壘層,勢(shì)壘層頂部相對(duì)的兩側(cè)設(shè)有源極電極,有益效果:襯底層上設(shè)有流體散熱結(jié)構(gòu),襯底層散熱性能好,在下襯底層上安裝有散熱座,使得氮化鎵晶體管整體具有散熱結(jié)構(gòu),增加的流體散熱結(jié)構(gòu)和散熱座,有效的改善氮化鎵晶體管的散熱性能,優(yōu)化氮化鎵晶體管的使用性能和使用壽命,降低成本。??