一種鉬承燒缽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021000556.8 申請日 -
公開(公告)號 CN212457940U 公開(公告)日 2021-02-02
申請公布號 CN212457940U 申請公布日 2021-02-02
分類號 F27D5/00(2006.01)I 分類 爐;窯;烘烤爐;蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 蔣小明 申請(專利權(quán))人 陜西華星電子開發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安泛想力專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 石琳丹
地址 712034陜西省西安市西咸新區(qū)秦漢新城周陵新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)天工一路東段10號-3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種鉬承燒缽。鉬承燒缽為長方體結(jié)構(gòu),長度方向的兩側(cè)面均勻開設(shè)有三排透氣孔。該半導(dǎo)體陶瓷半導(dǎo)化工藝包括以下步驟:在密閉爐體中充滿75%H2+25%N2的還原氣體,給加熱鉬絲通電使其加熱到1000?1100℃;在鉬承燒缽中裝滿待還原產(chǎn)品,在保證安全的前提下打開密閉爐體的一側(cè)爐門,通過推送機(jī)構(gòu)將承燒缽送進(jìn)密閉爐體內(nèi)的耐高溫爐管中進(jìn)行半導(dǎo)化。鉬具有在高溫還原氣氛下不變形、耐高溫、耐還原氣氛不變色、不起皮,強(qiáng)度高的特點,使得半導(dǎo)體陶瓷半導(dǎo)化工藝中采用鉬承燒缽替代Al2O3和不銹鋼承燒缽,具有明顯的改善工藝適應(yīng)性的特點,長期來看鉬承燒缽經(jīng)濟(jì)性更高。??