一種用于控制背面刻蝕量的抽氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122194097.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216054598U 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN216054598U 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L21/67（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李賀杰;裴朝曦;徐志雄 申請（專利權(quán)）人 江蘇華恒新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)高新路29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于控制背面刻蝕量的抽氣裝置，具體涉及電池研究技術(shù)領(lǐng)域，包括第一電動控制閥，所述第一電動控制閥頂端設(shè)置有導(dǎo)入機(jī)構(gòu)；所述導(dǎo)入機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在第一電動控制閥頂端的導(dǎo)入管，所述導(dǎo)入管一端安裝有抽氣風(fēng)機(jī)。本實用新型通過設(shè)置導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，關(guān)閉第一電動控制閥和第二電動控制閥，打開第三電動控制閥和第四電動控制閥，這樣可以快速將反應(yīng)箱內(nèi)空氣排出，關(guān)閉第三電動控制閥和第四電動控制閥，實現(xiàn)一機(jī)兩用，既可以抽出空氣又可以將抽出的反應(yīng)氣體導(dǎo)入到指定反應(yīng)區(qū)域的兩側(cè)以及頂部，導(dǎo)入管道分布均勻，導(dǎo)入氣體效率更加均勻，有效降低了設(shè)備成本，實用性更好。