一種便于提高單晶擴(kuò)散的恒溫裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111171759.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113913943A 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113913943A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C30B31/12（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 王天齊;李陽(yáng);張圣堯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇華恒新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓娟
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)高新路29號(hào)300MW多晶鑄錠、線鋸、電池片、組件3號(hào)樓1-101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種便于提高單晶擴(kuò)散的恒溫裝置，包括主體機(jī)構(gòu)和廢氣處理機(jī)構(gòu)，所述主體機(jī)構(gòu)包括擴(kuò)散爐主體、爐門、保溫桶、擋板、滑道、石英舟和TC管，且擴(kuò)散爐主體的一側(cè)設(shè)置有爐門，同時(shí)爐門的內(nèi)側(cè)設(shè)置有保溫桶，所述擴(kuò)散爐主體內(nèi)設(shè)置有滑道和TC管，且滑道上設(shè)置有石英舟，所述TC管與擴(kuò)散爐主體的內(nèi)底部連接，且擴(kuò)散爐主體與恒溫機(jī)構(gòu)連接，所述廢氣處理機(jī)構(gòu)設(shè)置在擴(kuò)散爐主體的一側(cè)，且廢氣處理機(jī)構(gòu)與廢熱處理機(jī)構(gòu)連接。該便于提高單晶擴(kuò)散的恒溫裝置，設(shè)置有電熱絲，電熱絲可對(duì)進(jìn)入擴(kuò)散爐主體內(nèi)的氣體進(jìn)行預(yù)先加熱，從而便于保證擴(kuò)散爐主體在充入氣體時(shí)其內(nèi)部的溫度處于某一固定范圍內(nèi)即達(dá)到相對(duì)恒溫的狀況，進(jìn)而便于促進(jìn)加工件的擴(kuò)散。