一種晶硅SE電池片熱氧化處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111396767.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114156365A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114156365A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類(lèi)號(hào) H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李賀杰;翁娜娜;李果 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇華恒新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王偉
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)高新路29號(hào)300MW多晶鑄錠、線鋸、電池片、組件3號(hào)樓1-101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶體硅太陽(yáng)電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶硅SE電池片熱氧化處理裝置；包括輸送架、輸送帶、加熱室、控制面板和兩個(gè)密封單元，加熱室的兩端分別設(shè)置有輸送口和輸出口，每個(gè)密封單元均包括安裝板、滑動(dòng)座、連接件、驅(qū)動(dòng)組件和密封板，將硅片放置在輸送帶上，當(dāng)硅片輸送至加熱室的內(nèi)部后，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件，使得滑動(dòng)座在安裝板上滑動(dòng)，通過(guò)連接件帶動(dòng)密封板下降，從而將輸送口和輸出口封閉，使得加熱腔密封，當(dāng)硅片的表面在加熱腔內(nèi)熱氧化形成二氧化硅氧化層后，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件，通過(guò)連接件帶動(dòng)密封板上升，從而使得表面氧化后的硅片通過(guò)輸出口輸出，采用上述結(jié)構(gòu)較少人工上下料的步驟，從而提高工作效率。