太陽(yáng)能硅片及電池片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210539390.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103871919B 公開（公告）日 2016-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN103871919B 申請(qǐng)公布日 2016-06-29
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王利順;陳利平;裴世鈾;李波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆山四方專利事務(wù)所 代理人 蘇州中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
地址 215311 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)臨港工業(yè)園瑞安路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽(yáng)能硅片及電池片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，光致熒光檢測(cè)平臺(tái)上設(shè)有能夠傳信于處理器的少子壽命探測(cè)器，電致熒光檢測(cè)平臺(tái)上設(shè)有能夠給樣品施加直流電源的加電裝置，且該加電裝置、樣品和電致熒光檢測(cè)平臺(tái)能夠形成一個(gè)導(dǎo)電回路，少子壽命檢測(cè)模塊能夠朝光致熒光檢測(cè)平臺(tái)發(fā)射閃光，激光照明系統(tǒng)能夠朝光致熒光檢測(cè)平臺(tái)和電致熒光檢測(cè)平臺(tái)之一發(fā)射激光，圖像采集系統(tǒng)能夠采集樣品發(fā)出的熒光圖像并傳信給處理器，本發(fā)明一臺(tái)設(shè)備可以分別進(jìn)行光致熒光檢測(cè)、電致熒光檢測(cè)、少子壽命測(cè)試和串聯(lián)電阻測(cè)試，樣品缺陷檢測(cè)分析全面、準(zhǔn)確，且無需反復(fù)更換設(shè)備，操作方便，有效提高工作效率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。