太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210539390.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103871919A 公開（公告）日 2014-06-18
申請公布號 CN103871919A 申請公布日 2014-06-18
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王利順;陳利平;裴世鈾;李波 申請（專利權(quán)）人 蘇州中導光電設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 昆山四方專利事務(wù)所 代理人 蘇州中導光電設(shè)備有限公司
地址 215311 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)臨港工業(yè)園瑞安路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，光致熒光檢測平臺上設(shè)有能夠傳信于處理器的少子壽命探測器，電致熒光檢測平臺上設(shè)有能夠給樣品施加直流電源的加電裝置，且該加電裝置、樣品和電致熒光檢測平臺能夠形成一個導電回路，少子壽命檢測模塊能夠朝光致熒光檢測平臺發(fā)射閃光，激光照明系統(tǒng)能夠朝光致熒光檢測平臺和電致熒光檢測平臺之一發(fā)射激光，圖像采集系統(tǒng)能夠采集樣品發(fā)出的熒光圖像并傳信給處理器，本發(fā)明一臺設(shè)備可以分別進行光致熒光檢測、電致熒光檢測、少子壽命測試和串聯(lián)電阻測試，樣品缺陷檢測分析全面、準確，且無需反復更換設(shè)備，操作方便，有效提高工作效率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。