一種電池片制備的PECVD鍍膜機(jī)爐門

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721202582.7 申請日 -
公開(公告)號 CN207313701U 公開(公告)日 2018-05-04
申請公布號 CN207313701U 申請公布日 2018-05-04
分類號 C23C16/50 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳斌;胡求名 申請(專利權(quán))人 浙江天明國際科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 沈相權(quán);薛紀(jì)表
地址 311201 浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)橋南區(qū)塊鴻興路358號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種電池片制備的PECVD鍍膜機(jī)爐門,包括爐門本體、觀測倉,觀測倉與爐門本體焊接在一起,且觀測倉連通鍍膜機(jī)爐腔,其特征在于:所述觀測倉后端與爐門本體連接處內(nèi)設(shè)置內(nèi)玻璃;在觀測倉的前端口設(shè)置外玻璃,外玻璃位于固定沿和活動(dòng)壓蓋之間;所述固定沿固定設(shè)置在觀測倉前端口外邊緣,在固定沿的前側(cè)面設(shè)置密封條,且在固定沿上設(shè)置固定螺栓;所述外玻璃的后側(cè)面貼著固定沿上的密封條;所述活動(dòng)壓蓋邊緣設(shè)置于固定螺栓配合的安裝套,且在活動(dòng)壓蓋中部設(shè)置觀測孔。該鍍膜機(jī)爐門上的觀測窗為一個(gè)向外延伸的觀測倉,其中在觀測倉的外端口設(shè)置外玻璃,這可以有效防止密封條因爐體溫度過高而老化,并導(dǎo)致爐體漏氣。這有效降低觀測窗的漏氣率,減少人們維修爐門的次數(shù),提升PECVD鍍膜機(jī)的使用性能。