一種提高擴(kuò)散均勻性的組件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721210536.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207282513U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-04-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207282513U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-04-27 |
| 分類號(hào) | H01L31/18;H01L21/223 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳斌;謝軍平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江天明國(guó)際科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈相權(quán);薛紀(jì)表 |
| 地址 | 311201 浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)橋南區(qū)塊鴻興路358號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種提高擴(kuò)散均勻性的組件，包括石英管、底架、前旋蓋、進(jìn)氣管、排氣管、石英舟，其中石英管的下部設(shè)置底架，前端口設(shè)置前旋蓋，在石英管內(nèi)設(shè)置石英舟，石英管的后部設(shè)置進(jìn)氣管，前部設(shè)置排氣管，其特征在于：所述石英管的后端安裝均流罩，均流罩呈錐狀，且其尖端連接進(jìn)氣管；所述均流罩內(nèi)設(shè)置有穩(wěn)流網(wǎng)，穩(wěn)流網(wǎng)將均流罩內(nèi)腔分割成一個(gè)個(gè)穩(wěn)流室；在石英管的前部側(cè)壁設(shè)置有一圈出氣孔，在石英管的前部外周設(shè)置環(huán)形集氣管，集氣管內(nèi)設(shè)集氣通道；所述排氣管連通集氣管。該組件通過(guò)在石英管的進(jìn)氣端加裝穩(wěn)流裝置，從而使氣體以穩(wěn)定的氣流進(jìn)入石英管內(nèi)，這可以使石英管內(nèi)的硅片均勻接觸氣體，避免現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的硅片表面電阻不均勻的問(wèn)題，從而提高所制硅片的性能。 |
