一種用于太陽能電池片制備的擴(kuò)散噴淋式進(jìn)氣管系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721209778.9 申請日 -
公開（公告）號 CN207320149U 公開（公告）日 2018-05-04
申請公布號 CN207320149U 申請公布日 2018-05-04
分類號 H01L31/18;H01L21/223 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳斌;謝軍平 申請（專利權(quán)）人 浙江天明國際科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈相權(quán);薛紀(jì)表
地址 311201 浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)橋南區(qū)塊鴻興路358號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于太陽能電池片制備的擴(kuò)散噴淋式進(jìn)氣管系統(tǒng)，包括進(jìn)氣管、擴(kuò)散管，進(jìn)氣管上設(shè)置連接罩，并通過連接罩連接擴(kuò)散管，其特征在于：所述進(jìn)氣管左端口通過端蓋密封；在進(jìn)氣管的左端部設(shè)置有匯流環(huán)和緩流器，匯流環(huán)與緩流器之間通過毛細(xì)管連通；所述匯流環(huán)位于進(jìn)氣管內(nèi)的部分開設(shè)有出氣縫；所述緩流器中空，且在中空部分設(shè)置環(huán)形濾網(wǎng)，濾網(wǎng)將緩流器中空部分分割成一個個緩流室；在緩流器的外側(cè)面設(shè)置氣源管。通過在進(jìn)氣管的進(jìn)氣口處加裝緩流器，可以在氣源進(jìn)入進(jìn)氣管前對氣不均勻的氣流進(jìn)行環(huán)流，使氣流成為穩(wěn)定流動的氣流，從而使氣流穩(wěn)定流入擴(kuò)散管內(nèi)，這可以避免局部氣流對硅片造成沖擊，使硅片可以均勻接觸氣源，并在其表面形成均勻的電阻，提升硅片質(zhì)量。