一種氫氣回收提純系統(tǒng)及其控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810107553.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108100994A 公開（公告）日 2018-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN108100994A 申請(qǐng)公布日 2018-06-01
分類號(hào) C01B3/50;B01D53/22;B01D53/26 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 吳海雷;馬傳龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州睿分電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 吳海雷;馬傳龍;蘇州睿分電子科技有限公司
地址 100022 北京市朝陽(yáng)區(qū)天創(chuàng)園8號(hào)樓1702室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域，具體公開了一種氫氣回收純化系統(tǒng)及其控制方法，該系統(tǒng)包括依次連接的尾氣處理器、除水裝置、壓縮機(jī)、第一緩沖罐、第一氣體分離膜組、第一儲(chǔ)氫裝置以及第二緩沖罐，工業(yè)設(shè)備的尾氣排放口和進(jìn)氣口分別與尾氣處理器和第二緩沖罐連接，壓縮機(jī)將氣體壓縮至壓力不小于5bar，第一氣體分離膜組的膜材料由陶瓷材料制成，第一儲(chǔ)氫裝置的儲(chǔ)氫材料為金屬合金類儲(chǔ)氫材料。本發(fā)明通過尾氣處理器對(duì)氫氣初步提純，通過陶瓷材料制成的分離膜，可以使氫氣濃度進(jìn)一步提純到99％以上，通過合金類的儲(chǔ)氫材料將氫氣濃度提高到5N級(jí)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中非泛半導(dǎo)體行業(yè)中的氫氣回收循環(huán)裝置不適合泛半導(dǎo)體行業(yè)的氫氣回收循環(huán)問題。