一種氫氣回收純化系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820185045.4 申請日 -
公開（公告）號 CN207943869U 公開（公告）日 2018-10-09
申請公布號 CN207943869U 申請公布日 2018-10-09
分類號 C01B3/50;B01D53/22;B01D53/26 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 吳海雷;馬傳龍 申請（專利權(quán)）人 蘇州睿分電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 吳海雷;馬傳龍;蘇州睿分電子科技有限公司
地址 100022 北京市朝陽區(qū)天創(chuàng)園8號樓1702室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及化工領(lǐng)域，具體公開了一種氫氣回收純化系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括依次連接的尾氣處理器、除水裝置、壓縮機(jī)、第一緩沖罐、第一氣體分離膜組、第一儲氫裝置以及第二緩沖罐，工業(yè)設(shè)備的尾氣排放口和進(jìn)氣口分別與尾氣處理器和第二緩沖罐連接，壓縮機(jī)將氣體壓縮至壓力不小于5bar，第一氣體分離膜組的膜材料由陶瓷材料制成，第一儲氫裝置的儲氫材料為金屬合金類儲氫材料。本實(shí)用新型通過尾氣處理器對氫氣初步提純，通過陶瓷材料制成的分離膜，可以使氫氣濃度進(jìn)一步提純到99％以上，通過合金類的儲氫材料將氫氣濃度提高到5N級，解決了現(xiàn)有技術(shù)中非泛半導(dǎo)體行業(yè)中的氫氣回收循環(huán)裝置不適合泛半導(dǎo)體行業(yè)的氫氣回收循環(huán)問題。